本站音问，字据天眼查APP数据泄漏卓胜微（300782）新取得一项实用新式专利授权，专利名为“等离子体刻蚀腔室盖板”，专利央求号为CN202420477874.5，授权日为2025年2月28日。

专利纲要：本实用新式提供一种等离子体刻蚀腔室盖板，在其侧壁上建立启齿宽度大于槽底宽度的环状搬运槽，以通过环状搬运槽平等离子体刻蚀腔室盖板进行装置及搬运，其中，呈环状的搬运槽可便于职责主说念主员同样搬运位置，加大手指与等离子体刻蚀腔室盖板的斗争面积，省力的同期也不错幸免装置经过中手指与GDP同样支架挂钩的挤压，幸免东说念主员手指受伤，以及可幸免装置经过中等离子体刻蚀腔室盖板与GDP同样支架挂钩的碰撞，幸免等离子体刻蚀腔室盖板的自己的损坏，从而可大大增多装置安全性和可靠性；进一步的，通过对环状搬运槽进行多种尺寸及刻画的建立，还可进一步的扩大等离子体刻蚀腔室盖板的操纵方便性及适用限制。

本年以来卓胜微新取得专利授权7个，较前年同期增多了250%。集结公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面插足了4.93亿元，同比增94.22%。

数据来源：天眼查APP

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